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一、優(you)等品

1：硅片表面光(guang)滑潔凈。

2：TV：220±20μm。

3：幾何尺(chi)寸： 邊(bian)(bian)長(chang)125±0.5mm；對角(jiao)150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm； 邊(bian)(bian)長(chang)103±0.5mm、對角(jiao)135±0.5mm； 邊(bian)(bian)長(chang)150±0.5mm 、156±0.5mm、對角(jiao)203±0.5mm、200±0.5mm。     同心度：任意(yi)兩個弧(hu)的(de)弦長(chang)之差≤1mm。     垂(chui)直度：任意(yi)兩邊(bian)(bian)的(de)夾角(jiao)：90°±0.3。

二、合格品(pin)

一級品(pin)：

1：表面有少許污漬、輕微(wei)線痕。

2：220±20μm ≤TV≤220±30μm。

3：幾何(he)尺寸： 邊長125±0.5mm；對(dui)角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm； 邊長103±0.5mm、對(dui)角135±0.5mm； 邊長150±0.5mm 、156±0.5mm、對(dui)角203±0.5mm、200±0.5mm。      同心度：任意兩個弧的弦長之差≤1.2mm。     垂直度：任意兩邊的夾角：90°±0.5。

二級品：

1：表(biao)面有少(shao)許污漬、線痕、凹痕，輕微(wei)崩邊。

2： 220±30μm ≤TV≤220±40μm。

3：凹痕：硅(gui)片表面凹痕之和≤30μm。

4：崩(beng)邊范圍(wei)：崩(beng)邊口(kou)不是(shi)三(san)角形狀，崩(beng)邊口(kou)長度(du)≤1mm，深度(du)≤0.5mm

5：幾(ji)何尺寸： 邊(bian)長(chang)(chang)125±0.52mm；對角(jiao)(jiao)150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm； 邊(bian)長(chang)(chang)103±0.52mm、對角(jiao)(jiao)135±0.52mm； 邊(bian)長(chang)(chang)150±0.52mm 、156±0.52mm、對角(jiao)(jiao)203±0.52mm、200±0.52mm。     同心度：任(ren)意兩個弧的(de)弦(xian)長(chang)(chang)之差(cha)≤1.5mm。     垂直度：任(ren)意兩邊(bian)的(de)夾(jia)角(jiao)(jiao)：90°±0.8。

三級品：

1：表面有(you)油污但硅片顏色不發黑，有(you)線痕和硅落現象。

2：220±40μm ≤TV≤220±60μm。

3：硅落：整張硅片邊緣(yuan)硅晶脫落或部(bu)分(fen)硅晶脫落。

三、不合格品

嚴重線痕、厚(hou)薄片：TV＞220±60μm。

崩邊片(pian)：有缺損(sun)但可以改Φ103的(de)硅片(pian)。

氣孔片(pian)：硅片(pian)中間(jian)有穿孔 。

外形片：切方滾圓未能磨出(chu)的硅片。

倒角片（同心度）：任意兩個弧的弦長之差>1.5mm。
菱形片（垂直度）：任意兩邊的夾角>90°±0.8。

凹痕(hen)片：硅(gui)片兩面凹痕(hen)之和＞30μm。

臟(zang)  片：硅(gui)片表面有嚴重污漬且發(fa)黃(huang)發(fa)黑。

尺寸偏差片：幾何尺寸超過二級品的范圍。