什么是硅片
2017-04-06 10:34:08 點擊：
將某一特定晶向的Si seed(種子,通常為一小的晶棒)棒插入熔融狀態Si下,并慢慢向上拉起晶棒,一根和seed相同晶向的晶柱就被生產出來,晶柱的直徑可以通過控制向上拉的速度等工藝變量來控制.將晶柱切割成很多的一小片,wafer就被制造出來了.晶柱兩頭無法切割成可用的wafer的部分可被稱為頭尾料.初步切割出來的wafer,表面通常比較粗糙,無法用作晶圓生產,因而通常都在后續工藝中進行拋光,拋光片的名詞就由此而來.針對不同晶圓制造要求,通常需要向粗制晶圓內摻雜一些雜質,如P,B等,以改變其阻值,因而就有了低阻,高阻,重摻等名詞.鍍膜片可以理解為外延片Epi,是針對特定要求的半導體device而制定的wafer,通常是在高端IC和特殊IC上使用,如絕緣體上Si(SOI)等. 在晶圓IC的生產過程中,需要一些wafer來測試生產設備的工藝狀態,如particle水平,蝕刻率,缺陷率等,這些wafer通常叫做控片,控片也用來隨正常生產批一起工藝以測試某一工藝的質量狀況,如CVD膜厚等.生產設備在維護或維修后,立即工藝生產批的wafer,容易造成報廢,因而通常要用一些非常低成本的wafer來運行工藝以確定維護或修理工作的質量,這類wafer通常叫做dummy wafer,當然有的時候dummy wafer也會用在正常生產過程中,如某些機臺必須要求一定數量的wafer才能工藝,不足的就用dummy wafer補足,而有的機臺必須在工藝一定數量的wafer后進行某一形式的dummy run,否則工藝質量無法保證等等諸如此類的很多wafer都可以叫做dummy. 擋片基本上可以視為dummy wafer的一種. dummy wafer,控片,擋片等通常都是可以回收利用的.
硅片，是制作集成電路的重要材料，通過對硅片進行光刻、離子注入等手段，可以制成各種半導體器件。用硅片制成的芯片有著驚人的運算能力。科學技術的發展不斷推動著半導體的發展。自動化和計算機等技術發展，使硅片（集成電路）這種高技術產品的造價已降到十分低廉的程度。這使得硅片已廣泛應用于航空航天、工業、農業和國防，甚至悄悄進入每一個家庭。
硅片，是制作集成電路的重要材料，通過對硅片進行光刻、離子注入等手段，可以制成各種半導體器件。用硅片制成的芯片有著驚人的運算能力。科學技術的發展不斷推動著半導體的發展。自動化和計算機等技術發展，使硅片（集成電路）這種高技術產品的造價已降到十分低廉的程度。這使得硅片已廣泛應用于航空航天、工業、農業和國防，甚至悄悄進入每一個家庭。
